层流速度监控在洁净室行业的应用


blueski推荐 [2010-7-17]
出处:icccs
作者:赵浩杰
 

 

前言:

    在高精密、高要求的洁净室行业中,气流流速的控制是一个非常重要的环节,使用精确的传感器配合控制系统以实现气流速度受控的要求

关键词:层流监控图例

层流监控 风速


一、精确的层流气体监控

    在层流状态的生产过程中,气流从顶部以层流状态送出,污染源来自操作者及生产过程的挥发,在挥发以及产生污染的过程中,污染被层流气体带走,当传感器探测到送风风速小于0.1m/s时,系统报警,以告知操作者,以便能迅速采取措施恢复受控状态。

 

二、应用范围

    电子、制药、生物污染控制等光盘生产中的速度监控

    如CD生产中,上涂层的步骤需要洁净的空气用于挥发溶剂,需要精确的控制气流速度是最基本的要求。

 


    在GMP中,要求控制的速度是0.45m/s;在一些半导体行业中要求控制的速度是1.0m/s,根据洁净度的不同,控制的速度也不同,如ISO1-3级洁净室要求截面风速为0.3-0.5m/s,在ISO4-5级洁净室要求截面风速为0.2-0.4m/s。

 

三、压差与气流测量

压差与气流测量对比表


四、案例

1.层 流送风气流监测

安装在层流送风位置的传感器

2.罐装生产线局部微环境内气流监测

罐装线应用图片

3.注射用瓶生产

4.双相气流均衡监测

气流均衡监测图片

5.晶圆清洗系统

图片:应用于晶圆系统清洗的监控

 

五、特性

传感器特性

 

高精度
极短的响应时间
卫生设计
耐化学性
便于清洗
GMP的标准设计